[发明专利]纳秒脉冲器射频隔离在审
| 申请号： | 202080048240.2 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN114041203A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·伯曼;康纳·利斯顿;尼古拉斯·A·杨;肯尼斯·米勒;艾丽亚·斯劳伯道夫;迪麦西·津巴 | 申请（专利权）人： | 鹰港科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/00;H03K3/00 |
| 代理公司： | 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 | 代理人： | 黄庆 |
| 地址： | 美国华盛顿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一些实施例包括等离子体系统。等离子体系统包括等离子体腔室、射频驱动器、纳秒脉冲器、第一滤波器及第二滤波器。射频驱动器以大于2兆赫的射频频率来驱动射频突发至等离子体腔室。纳秒脉冲器以脉冲重复频率及峰值电压来驱动脉冲至等离子体腔室。脉冲重复频率小于射频频率，峰值电压大于2千伏特。第一滤波器配置在射频驱动器及等离子体腔室之间。第二滤波器配置在纳秒脉冲器及等离子体腔室之间。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 射频 隔离 | ||
【主权项】：
暂无信息
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