[发明专利]量测目标的改进在审
| 申请号： | 202080048483.6 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114080569A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | N·梅塔;J·科塔尔;帕特里克·华纳;M·范德斯卡;M·G·M·M·范卡拉埃吉;H·A·J·克瑞姆;O·V·兹维尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种图案形成装置和使用该图案形成装置进行图案化的辅助衬底，该图案形成装置用于将产品结构图案化到衬底上。该图案形成装置包括目标图案化元件，其用于图案化至少一个目标，从至少一个目标能够推断感兴趣参数。目标图案化元件和用于图案化产品结构的产品图案化元件。目标图案化元件和产品图案化元件被配置为使得所述至少一个目标具有至少一个边界，该至少一个边界既不平行也不垂直于所述衬底上的所述产品结构。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 改进 | ||
【主权项】：
暂无信息
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