[发明专利]半导体器件检查方法及半导体器件检查装置在审
| 申请号： | 202080049599.1 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114096863A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 寺田浩敏;岩城吉刚 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/302 | 分类号： | G01R31/302;G01R31/26;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的半导体器件检查方法具备：检测来自半导体器件(D)中的多个位置的光，取得分别与该多个位置相对应的波形的步骤；自分别与多个位置相对应的波形提取与特定的时序相对应的波形，基于提取的波形生成与特定的时序相对应的图像的步骤；以及基于与特定的时序相对应的图像中的亮度分布相关值提取特征点，基于该特征点，特定半导体器件中的驱动元件的位置的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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