[发明专利]具有用于广角离子束的抽取组合件的设备以及系统在审
| 申请号： | 202080049673.X | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN114080658A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 科斯特尔·拜洛;爱普·纳文·汤玛斯;泰勒·洛克威尔;法兰克·辛克莱;克里斯多夫·坎贝尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/305;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 郑乐;臧建明 |
| 地址： | 美国加州圣塔克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种离子束处理设备可包括等离子体腔室及设置在所述等离子体腔室旁边的等离子体板，其中所述等离子体板界定第一抽取开孔。所述设备可包括设置在所述等离子体腔室内并面向所述抽取开孔的束阻挡器。所述设备可还包括：非平面电极，邻近所述束阻挡器并在所述等离子体腔室的外部设置；以及抽取板，设置在所述等离子体板的外部，并界定与所述第一抽取开孔对齐的第二抽取开孔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 广角 离子束 抽取 组合 设备 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080049673.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：量测方法和相关的计算机产品
- 下一篇：医疗装置
