[发明专利]薄膜箔及制造薄膜箔的方法在审

专利信息
申请号: 202080052151.5 申请日: 2020-06-26
公开(公告)号: CN114127981A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 段成伯 申请(专利权)人: 阿莫绿色技术有限公司
主分类号: H01M4/04 分类号: H01M4/04;C23C14/16;C23C14/20;C23C14/34
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 陈鑫;姚开丽
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种制造薄膜箔的方法,其中,通过真空沉积工艺在基底基板上形成金属薄膜层,以形成厚度为5μm或更小、优选地为2μm或更小的超薄膜箔。本发明提供的制造薄膜箔的方法包括:准备具有剥离性能的基底基板;准备金属原料;通过在基底基板上真空沉积金属原料以在基底基板上形成金属层;以及将基底基板与金属层分离以形成薄膜箔,其中,准备BeCu合金、Cu‑Ag‑Cr三元合金、Ag合金、CuMo合金和CuFeP合金中的一种作为金属原料。
搜索关键词: 薄膜 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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