[发明专利]具有减少的横向模式的BAW谐振器在审
申请号: | 202080052679.2 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN114270705A | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | F·洛克纳;E·米勒 | 申请(专利权)人: | RF360欧洲有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;傅远 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种具有减少的横向模式的BAW谐振器(RN)。该谐振器具有底部电极(BE)、压电材料(PM)和顶部电极(TE)的有源堆叠,并且该有源堆叠的至少一个元件具有弯曲侧壁(CSW)。两个或更多个弯曲侧壁可以被布置在具有不同半径的椭圆形印迹的球体上、在圆柱体或棱柱体上。 | ||
搜索关键词: | 具有 减少 横向 模式 baw 谐振器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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