[发明专利]用于确定关于目标结构的信息的方法和系统在审
| 申请号： | 202080053489.2 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN114144732A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | A·J·登博夫;K·布哈塔查里亚;张耕辅;S·G·J·马斯杰森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于确定关于目标结构的信息的方法和系统。在一种布置中，获得针对目标结构的不对称指示符的值。不对称指示符的值表示目标结构中套刻无关不对称的量。估计在先前时间对目标结构执行的初始套刻测量中的误差。使用所获得的不对称指示符的值和以下项之间的关系来执行该估计：不对称指示符的值与至少部分地由套刻无关不对称引起的套刻测量误差。使用初始套刻测量和估计误差来确定目标结构中的套刻。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 关于 目标 结构 信息 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080053489.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：聚(亚芳基醚)组合物
- 下一篇：再扫描显微镜系统和方法
