[发明专利]量测装置及其相位调制器设备在审
| 申请号： | 202080053628.1 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114174890A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | A·J·登鲍埃夫;S·R·胡伊斯曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种相位调制器设备，包括用于调制输入辐射的至少一个第一相位调制器，以及包括这种相位调制器设备的量测装置。第一相位调制器包括：第一移动光栅，该第一移动光栅处于至少一种操作状态，用于衍射输入辐射并且使经衍射辐射的频率发生多普勒偏移；以及第一补偿光栅元件，包括节距，该节距被配置为补偿所述经衍射辐射的至少一个衍射阶的波长相关色散。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 相位 调制器 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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