[发明专利]多晶硅析出用硅芯线及其制造方法在审
申请号: | 202080054422.0 | 申请日: | 2020-07-29 |
公开(公告)号: | CN114206776A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 阪井纯也;贺藤诚司;镰田诚;惠本美树 | 申请(专利权)人: | 株式会社德山 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;C30B28/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 吕琳;朴秀玉 |
地址: | 日本山口*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的问题在于,在呈门型形状的多晶硅析出用硅芯线中,进一步高度地降低接合角部的表面金属浓度。一种多晶硅析出用硅芯线,其特征在于,所述多晶硅析出用硅芯线为由一对垂直棒部与连接这一对垂直棒部的各上端的横架部构成的呈门型形状的、用于使多晶硅析出的硅芯线,所述垂直棒部与横架部的端部彼此通过焊接而接合,其接合角部的表面金属浓度为1ppbw以下,特别是铁的浓度为0.2ppbw以下,铬的浓度为0.1ppbw以下,镍的浓度为0.05ppbw以下,以及钛的浓度为0.2ppbw以下。 | ||
搜索关键词: | 多晶 析出 用硅芯线 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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