[发明专利]碳纳米管的制造装置和制造方法有效
| 申请号： | 202080054471.4 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114174220B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 野田优;并木克也;张子豪;大沢利男;杉目恒志 | 申请（专利权）人： | 学校法人早稻田大学;株式会社名城毫微碳 |
| 主分类号： | C01B32/162 | 分类号： | C01B32/162;C01B32/159 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朝鲁门 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳纳米管的制造装置和制造方法。所述碳纳米管的制造装置以及制造方法能够在浮游催化剂化学气相沉积(FCCVD)法中实现催化剂原料的高温加热，且能够提高被合成的碳纳米管的品质和产量。碳纳米管的制造装置1包含：用于合成碳纳米管的合成炉2、将用于合成碳纳米管的催化剂原料供给至合成炉2的催化剂原料供给喷嘴3、以及能够将催化剂原料供给喷嘴3的内腔部4的温度设定为比合成炉2的反应场5的温度高的喷嘴温度调整单元6。通过将催化剂原料加热至催化剂金属不凝缩的温度，且将已被分解的催化剂原料供给至合成炉2，并且将已被分解的催化剂原料在合成炉2内迅速地冷却至CVD温度，能够在反应场5的空间中高密度地生成微小的催化剂金属粒子，从而能够以高密度使小直径的碳纳米管气相沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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