[发明专利]多晶硅棒及其制造方法在审
| 申请号： | 202080056738.3 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN114206777A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 纸川敬充;惠本美树;浅野卓也 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本山口*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种有效地降低了多晶硅内部所含的重金属的浓度的多晶硅棒及其制造方法。在多晶硅棒的制造方法中，在对由硅的棒状体构成的芯线进行通电的同时，向所述反应器内供给多晶硅析出用原料气体，使多晶硅在所述芯线的表面气相沉积，在多晶硅棒的制造方法中，在从将所述芯线的表面洁净化后到将所述芯线设置于反应器内的期间，将所述硅芯线置于洁净度被调整为通过ISO14644－1定义的等级4～6的气氛下，由此能得到距所述芯线与在所述芯线的表面析出的多晶硅的界面2mm的区域中的、铁和镍的总金属浓度以元素换算计为40pptw以下的多晶硅棒。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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