[发明专利]用于生产各自用于形成电子或光电器件的氮化物台面的方法

摘要

本发明特别涉及一种用于获得台面(550A、550B)的方法，台面至少部分地由氮化物(N)制成的，该方法包括以下连续步骤：‑提供叠置件，该叠置件包括基板(100)和从该基板(100)起连续地布置的至少下述层：‑第一层，被称为流变层(200)；‑第二结晶层，被称为结晶层(300)；‑通过对流变层(200)的至少一部分(220)和结晶层(300)进行蚀刻来形成垫(1000A1‑1000B4)，使得：每个垫(1000A1‑1000B4)至少包括：‑第一部分，其被称为流变部分(200A1‑200B4)，其由流变层(200)的至少一部分形成；第二结晶部分，其称为结晶部分(300A1、300B4)，由结晶层(300)形成并覆在流变部分(200A1‑200B4)上；垫(1000A1‑1000B4)分布在基板(100)上，以便形成多个组(1000A、1000B)的垫(1000A1‑1000B4)；‑在所述垫(1000A1‑1000B4)的至少一些垫上外延生长微晶(510A1‑510B4)，并继续微晶(510A1‑510B4)的外延生长直到由同一个组(1000A、1000B)的相邻垫(1000A1‑1000B4)承载的微晶(510A1‑510B4)达到聚结。