[发明专利]具有电弧室材料混合的离子植入系统在审
| 申请号： | 202080057911.1 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN114245930A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 唐瀛;S·N·叶达弗;J·R·德斯普雷斯;J·R·斯威尼;O·比尔 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述一种用于离子植入的系统及方法，其包含：气体或包含至少一种可离子化气体的气体混合物，其用来产生离子物种；及电弧室，其包含两种或更多种不同电弧室材料。使用所述系统，在具有衬垫组合的所述电弧室中产生离子物种，且一或多个所要离子物种显示所述经产生的离子物种当中的更高束电流，这通过使用所述不同材料来促进。继而可实现将所述所要离子物种改进地植入到衬底中。此外，所述系统可在系统操作期间最小化金属沉积物的形成，由此延长源寿命且促成改进的系统性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电弧 材料 混合 离子 植入 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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