[发明专利]表面处理组合物及方法在审
| 申请号： | 202080058197.8 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN114258420A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | W·A·沃伊特恰克;高桥和敬;水谷笃史;T·多瑞;朴起永 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料美国有限公司 |
| 主分类号： | C09D5/00 | 分类号： | C09D5/00;C09D7/63;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 艾佳 |
| 地址： | 美国罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及用于处理具有设置于基板的表面上的图案的半导体基板的方法和组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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