[发明专利]波长选择模块、照射系统和量测系统在审
| 申请号： | 202080058807.4 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN114341737A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | G·范德祖克;M·J·M·范达姆;J·索非尔德;R·P·范戈科姆 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J3/02;G01J3/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于量测设备的波长选择模块。该波长选择模块包括：一个或多个滤波器元件，可操作为接收包括多个波长的输入辐射束，以提供对相应输出辐射束的波长特性的选择控制。所述一个或多个滤波器元件中的至少一个包括至少两个线性可变滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 选择 模块 照射 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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