[发明专利]用于改善图像中的结构的基于过程的轮廓信息的方法在审
| 申请号： | 202080058841.1 | 申请日： | 2020-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN114286964A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 郑羽南;范永发;冯牧;郑雷武;王祯祥;罗亚;张辰骥;陈骏;侯振宇;王进泽;陈峰;马紫阳;郭欣;程进 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了产生经修改的模拟轮廓和/或基于经修改的轮廓产生量测量规的方法。一种产生用于测量衬底上的结构的物理特性的量测量规的方法包括：获得(i)与印制于所述衬底上的所述结构的所述物理特性相关联的测量数据，和(ii)所述结构的模拟轮廓的至少一部分，所述模拟轮廓的所述部分与所述测量数据相关联；基于所述测量数据修改所述结构的所述模拟轮廓的所述部分；和在所述模拟轮廓的经修改的部分上或附近产生所述量测量规，所述量测量规被放置以测量所述结构的所述模拟轮廓的所述物理特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改善 图像 中的 结构 基于 过程 轮廓 信息 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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