[发明专利]隔离阀在审
| 申请号： | 202080060416.6 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN114286906A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | B·莱尔顿;A·K·萨布莱曼尼;C·T·卡尔森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K1/20 | 分类号： | F16K1/20;F16K49/00;F16K51/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了隔离阀，以及包含隔离阀的腔室系统和使用隔离阀的方法。在一些实施例中，隔离阀可包括阀体和挡板组件。阀体可限定第一流体容积、第二流体容积和安置表面。挡板组件可包括设置在阀体内部的挡板，所述挡板具有与安置表面互补的挡板表面。挡板可在阀体内枢转至第一位置，使得挡板表面可远离安置表面，以允许在第一流体容积与第二流体容积之间的流体流动。挡板可在阀体内枢转至第二位置，使得挡板表面可靠近安置表面以形成非接触式密封，以限制在第一流体容积与第二流体容积之间的流体流动。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离 | ||
【主权项】：
暂无信息
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