[发明专利]用于多射束SEM工具的自参考健康监测系统在审
| 申请号： | 202080060496.5 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN114424316A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 方伟;浦凌凌 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于图像增强的系统和方法。一种用于增强图像的方法，可以包括接收在成像过程中针对多射束系统的射束的性能度量的记录((502),(506))，每个记录与射束相关联。该方法还可以包括基于使用记录的一部分(502)所确定的基准值(504)，来确定射束的异常是否发生。该方法还可以包括响应于异常已经发生的确定来提供异常指示。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多射束 sem 工具 参考 健康 监测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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