[发明专利]形成含有结晶化氧化铝的保护涂层的方法在审
申请号: | 202080061931.6 | 申请日: | 2020-07-09 |
公开(公告)号: | CN114341397A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 大野贤一;埃里克·H·刘;苏克蒂·查特吉;尤里·梅尔尼克;托马斯·奈斯利;大卫·亚历山大·布里兹;兰斯·A·斯卡德尔;普拉文·K·纳万克尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56;F01D5/28 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开内容的实施方式大体上关于基板上的保护涂层及沉积保护涂层的方法。在一或多个实施方式中,在基板上形成保护涂层的方法包括:在第一气相沉积处理期间在基板的表面上沉积含有非晶氧化铬的氧化铬层;及在第一退火处理期间加热含有包含非晶氧化铬的氧化铬层的基板,以将非晶氧化铬的至少一部分转换成结晶氧化铬。所述方法还包括:在第二气相沉积处理期间在氧化铬层上沉积含有非晶氧化铝的氧化铝层;及在第二退火处理期间加热含有设置在氧化铬层上的氧化铝层的基板,以将非晶氧化铝的至少一部分转换成结晶氧化铝。 | ||
搜索关键词: | 形成 含有 结晶 氧化铝 保护 涂层 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的