[发明专利]带有可调节粒子射束的冷气喷射设备在审
| 申请号： | 202080062693.0 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN114375350A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | A.阿恩特;A.克鲁兹;J.D.詹森;U.克鲁格;U.皮里茨;O.斯蒂尔 | 申请（专利权）人： | 西门子股份公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张建锋 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于产生可调粒子射束(50)的冷气喷射设备(100)和一种用于控制这种冷气喷射设备(100)的方法。为了在持续运行期间针对性地控制冷气喷射设备(100)的粒子射束(50)，特别是为了在短期内使其关闭而建议，冷气喷射设备(100)具有使粒子射束(50)流出的喷嘴(110)，用于将粒子流(40)输入喷嘴(110)的进料装置(130)和一个或多个执行器(21，22，23)，所述执行器设计为使得粒子流(40)和/或粒子射束(50)在持续运行期间可以暂时减少，特别是暂时中断。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 调节 粒子 冷气 喷射 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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