[发明专利]制造包括吸气剂材料的用于检测电磁辐射的装置的方法在审
| 申请号： | 202080068129.X | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN114502503A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 若弗鲁瓦·迪蒙;塞巴斯蒂安·贝克尔 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;G01J5/04;G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 程强;谢攀 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造检测装置的方法，该检测装置包括由矿物牺牲层(14、15)覆盖的至少一个热检测器(20)、由含碳牺牲层(17)覆盖的至少一个吸气剂部分(13)、以及包围热检测器和吸气剂部分的薄封装层(31)。制造方法包括产生延伸通过矿物牺牲层(14、15)并且通向衬底(10)的通孔(16)的步骤，以及沉积含碳牺牲层(17)以便覆盖位于通孔(16)中的吸气剂部分(13)并完全填充通孔(16)的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 包括 吸气 材料 用于 检测 电磁辐射 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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