[发明专利]等离子体处理系统和等离子体处理方法在审
| 申请号： | 202080069621.9 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN114503239A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·梅;伯恩哈德·科德;西蒙·赫布纳;彼得·沃尔法特 | 申请（专利权）人： | 新格拉斯科技集团 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/52;C23C16/505;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 德国美茵河畔卡勒*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种处理系统(100)具有用于对至少一个基板进行动态或静态处理的处理室(101)。一种电感耦接等离子体源ICP源(120、120')包括：至少一个电感器(130a、130b)，所述至少一个电感器(130a、130b)沿所述ICP源(120、120')的纵向方向延伸；供气装置(141、142)，所述供气装置(141、142)用于一种或多种处理气体；以及设置在所述处理室(101)中的气体引导布置(150)，所述气体引导布置(150)沿所述ICP源(120、120')的所述纵向方向延伸并且部分地围绕所述至少一个电感器(130a、130b)。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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