[发明专利]用于分析的激光烧蚀样品的加湿在审
申请号: | 202080073017.3 | 申请日: | 2020-08-19 |
公开(公告)号: | CN114667587A | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | M.P.费尔德;J.萨科夫斯基;J.克拉恩;C.J.奥康诺 | 申请(专利权)人: | 基础科学公司 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贺紫秋 |
地址: | 美国内布*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 描述了在引入ICP炬之前将水蒸气引入激光烧蚀样品的加湿系统和方法。系统实施例包括但不限于水蒸气发生器,其被配置为控制水蒸气流的产生并将水蒸气流转移到激光烧蚀设备的样品腔室或与激光烧蚀设备流体连通的混合腔室中的至少一个,其中混合腔室被配置为从激光烧蚀设备接收激光烧蚀样品并将激光烧蚀样品引导到电感耦合等离子体炬。 | ||
搜索关键词: | 用于 分析 激光 样品 加湿 | ||
【主权项】:
暂无信息
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