[发明专利]垂直场效应晶体管和用于其构造的方法在审
申请号: | 202080073952.X | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN114586174A | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | D·斯霍尔滕;J·巴林豪斯;D·克雷布斯 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | H01L29/10 | 分类号: | H01L29/10;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种垂直场效应晶体管(200),其具有:带有第一导电性类型的漂移区域(204);在所述漂移区域(204)上或者上方的半导体鳍片(206);和在所述半导体鳍片(206)上或者上方的源/漏电极(214,216),其中,所述半导体鳍片(206)具有能导电的区域(208)和限制结构(210),所述能导电的区域将所述源/漏电极(214,216)与所述漂移区域(204)能导电地连接,所述限制结构横向地在所述能导电的区域(208)旁边构造并且从所述源/漏电极(214,216)到所述漂移区域(204)去地延伸,其中,所述限制结构(210)设置用于,将所述垂直场效应晶体管在所述半导体鳍片(206)中的导电的通道限制到所述能导电的区域(208)的区上。 | ||
搜索关键词: | 垂直 场效应 晶体管 用于 构造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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