[发明专利]氧化物溅射靶及氧化物溅射靶的制造方法在审
| 申请号： | 202080075120.1 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114616218A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 陆田雄也;梅本启太 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氧化物溅射靶，其由氧化物构成，该氧化物含有锆、硅及铟作为金属成分，氧化锆相(11)的最大粒径为10μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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