[发明专利]基于MEMS的气流系统在审
| 申请号： | 202080075265.1 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114586479A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | A·S·亚拉马蒂;V·穆坤丹;S·甘地;N·P·拉亚帕蒂;P·萨斯亚墨菲;S·R·马哈瓦佩迪;M·米纳德;B·J·加利 | 申请（专利权）人： | 福珞尔系统公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;G06F1/20;H01L23/34;H01L23/46;H01L23/467;H01L23/473 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭帆扬;张一舟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种包括孔板、风扇元件和至少一个通道的系统。孔板在其中具有至少一个孔口。风扇元件构造成经历振动运动以驱动流体通过(多个)孔口。响应于流体被驱动通过所述至少一个孔口，流体被抽吸通过(多个)通道。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 气流 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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