[发明专利]用于高速应用的带电粒子检测器封装在审
| 申请号： | 202080076753.4 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN114631165A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 王勇新 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 带电粒子束系统可以包括检测器。用于检测器的封装可以具有包括两个销集的封装体，销集中的每个销集包括两个销。销集中的每个销可以被配置为连接到感测元件的两个端子中的一个端子。不同集合中的销可以被配置为连接到二极管的两个端子中的不同端子。销集可以被布置为具有对称性，使得当电流通过销集时生成的磁场由于对称性而减小。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高速 应用 带电 粒子 检测器 封装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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