[发明专利]钇或镧系金属前体物化合物、包含其的成膜组合物以及使用其形成含钇或镧系金属的膜的方法在审
| 申请号： | 202080077919.4 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114667290A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 金镇植;朴明镐;马东焕;李伦炅;崔晙焕 | 申请（专利权）人： | UP化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F5/00 | 分类号： | C07F5/00;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及钇/镧系金属前体化合物、包含所述钇/镧系金属前体化合物的用于沉积含钇/镧系金属的膜的前体组合物、以及使用所述前体组合物沉积含钇/镧系金属的膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 物化 包含 组合 以及 使用 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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