[发明专利]无PAG的正型化学增幅抗蚀剂组合物及使用其的方法在审
| 申请号： | 202080078107.1 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114667486A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 工藤隆范;陈宏扬 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 姜煌 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所公开的主题涉及包含酚系树脂组分、光敏性2,1,5‑重氮基萘醌磺酸酯组分(PAC)、溶剂组分的抗蚀剂组合物,其不包括或不需要使用添加的光致产酸剂(PAG)。PAC为游离的PAC、偶合的PAC(PACb)或其组合,其包括经取代或未经取代的2,1,5‑DNQ材料或其上附接经取代或未经取代的2,1,5‑DNQ材料的化合物,其在UV曝光时不形成磺酸。酚系树脂组分为酚醛清漆衍生物，其中游离羟基中的一些或全部用可包括PACb部分的酸可裂解缩醛部分保护。所公开的主题还涉及在厚膜或薄膜光致抗蚀剂器件制造方法中使用本发明组合物的方法。 | ||
| 搜索关键词： | pag 化学 增幅 抗蚀剂 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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