[发明专利]可调谐激光设备、调谐激光束的方法、干涉仪系统和光刻装置在审
| 申请号： | 202080078613.0 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN114731027A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | M·J·詹森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可调谐激光设备，包括：激光源，提供具有源光频率的激光束；调谐设备，调谐具有源光频率的激光束以提供具有调谐光频率的激光束；输入设备，用于向调谐设备提供输入信号；以及前馈设备，提供前馈信号，该前馈信号被设置为补偿由调谐设备引起的干扰效应。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 激光设备 激光束 方法 干涉仪 系统 光刻 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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