[发明专利]用于良率损失检测的基于故障密度的聚类在审
| 申请号： | 202080087253.0 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114846341A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | I·鲍尔;M·M·哈格蒂;S·E·里德尔;P·W·金霍恩;A·纳哈尔;G·E·舒特;R·K·克努珀 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G06F17/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于故障管芯聚类的方法，包括从晶圆的晶圆图中提取(200)晶圆上的故障管芯的数据集，确定(201)用于对故障管芯进行聚类的密度参数，从故障管芯的数据集中去除(202)虚假故障以生成故障管芯的减小的数据集，通过执行具有密度参数的基于密度的带噪声应用空间聚类(DBSCAN)算法在减小的数据集中定位(204)故障管芯的聚类，以及对每个定位的聚类应用(206)保护带。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 损失 检测 基于 故障 密度 | ||
【主权项】：
暂无信息
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