[发明专利]气体放电光源中的预测装置在审
| 申请号： | 202080088425.6 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114846408A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | M·米纳卡伊斯 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置包括决策模块，该决策模块被配置为：接收与发射光束的光学系统的性能状况有关的性能度量；基于性能度量和预定学习模型来估计所提出的对光学系统的改变的有效性；以及如果估计所提出的对光学系统的改变是有效的，则向光学系统输出改变命令。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 放电 光源 中的 预测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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