[发明专利]感光性树脂组合物、干膜及其制造方法、抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法在审
| 申请号： | 202080089540.5 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114868081A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 岸本友辅;川上晃也 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07C65/05;C07C309/42;C07D493/08;C07C381/12;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种容易形成截面形状为矩形的抗蚀剂图案、灵敏度良好且能够抑制产酸剂的分解的化学放大型正型感光性树脂组合物、具备由该化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性层的感光性干膜及其制造方法、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、带铸模基板的制造方法、镀覆造型物的制造方法。化学放大型正型感光性树脂组合物包含通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)与酸扩散抑制剂(C)，其中，产酸剂(A)包含通过活性光线或放射线的照射而产生磺酸的非离子类产酸剂，酸扩散抑制剂(C)包含通过活性光线或放射线的照射而分解的特定结构的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 制造 方法 抗蚀剂膜 铸模 镀覆 造型 | ||
【主权项】：
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