[发明专利]磁固定件、基板支撑组件和用于将边缘支撑框架固定到工作台框架的方法在审
| 申请号： | 202080106801.X | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN116368435A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·林登贝格;沃尔夫冈·克莱因 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于将边缘支撑框架(ESF)固定到沉积设备的工作台框架的磁固定件。所述磁固定件包括：第一构件，所述第一构件具有磁体；和第二构件，所述第二构件具有磁元件。所述第一构件和所述第二构件各自耦接到所述工作台框架和所述ESF中的至少一者，其中在所述第一构件与所述第二构件之间的磁力被构造为将所述ESF固定到所述工作台框架。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 支撑 组件 用于 边缘 框架 工作台 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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