[发明专利]光罩保护装置及光罩保护系统有效
| 申请号： | 202110003761.2 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN112707016B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 孙飞 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/10;B65D85/30;B65D81/18;B65D81/05 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;袁礼君 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，提出了一种光罩保护装置及光罩保护系统。光罩保护装置包括框架和保护膜，框架用于设置在光罩的基板上，框架上设置有夹持空间；保护膜的边沿固定于夹持空间内。通过将保护膜的边沿固定于框架的夹持空间内，从而可以增加框架对保护膜的固定效果，以此防止保护膜脱离框架。 | ||
| 搜索关键词： | 保护装置 保护 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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