[发明专利]一种镀膜装置在审
| 申请号： | 202110010669.9 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112853293A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 占勤;杨洪广;窦志昂;连旭东;郭炜 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本公开属于镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜装置。该装置包括多反应腔系统、传输腔系统、控制系统、气路系统、水冷系统及手套箱；其中多反应腔系统包括2个以上独立的反应腔系统，各反应腔系统分布于传输腔系统四周；手套箱与传输腔系统、传输腔系统与各反应腔之间设置有密封的过渡腔室且通过高真空插板阀实现两者的连通与关闭。所述各反应腔系统均包括真空腔体及位于真空腔体内的靶系统和载片台系统，各反应腔内的真空度控制在8*10 |
||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国原子能科学研究院，未经中国原子能科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110010669.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
