[发明专利]折反式多光轴同轴度动态检测装置及检测方法有效

专利信息
申请号: 202110015574.6 申请日: 2021-01-07
公开(公告)号: CN112648942B 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 江伦;代天君;李小明;张家齐;高亮;李响;董岩;常帅;安岩;宋延嵩;董科研;佟首峰 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: G01B11/27 分类号: G01B11/27;G01M11/02;H01S3/10;H01S5/06
代理公司: 北京中理通专利代理事务所(普通合伙) 11633 代理人: 刘慧宇
地址: 130022 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 折反式多光轴同轴度动态检测装置及检测方法,属于光电检测技术领域,为了解决现有技术存在的问题,窗口、抛物镜、折转反射镜、准直镜头组成二级缩束系统;准直镜头、电控衰减片、能量分光片一、起偏器一和PS光光瞳检测相机依次同轴安装;能量分光片一、能量分光片二、1/4波片、1/2波片、偏振分光片和反射镜依次同轴安装;能量分光片二、起偏器二、聚焦镜头一和PS光光轴检测相机依次同轴安装;偏振分光片、聚焦镜头二和P光光轴检测相机依次同轴安装;反射镜、聚焦镜头三和S光光轴检测相机依次同轴安装且组成S光光轴检测支路;高能激光系统对输出激光束中的P光和S光光轴进行实时调整,使得输出激光束能量密度增大。
搜索关键词: 反式 光轴 同轴 动态 检测 装置 方法
【主权项】:
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