[发明专利]一种真空阀门有效
| 申请号： | 202110019715.1 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112833208B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 缪晖华 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/18 | 分类号： | F16K3/18;F16K3/30;F16K3/314;F16K3/316;F16K27/04;F16K31/12;F16K41/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空阀门，涉及半导体生产技术领域。该真空阀门用于控制两个腔室之间的开闭，包括壳体、门板、弹性连接件、传动件及驱动件。所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；所述门板滑动设置于所述壳体内，用于打开或关闭所述开口；所述弹性连接件弹性连接两块所述门板；所述传动件一端伸入所述壳体，所述传动件能够改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘。该真空阀门不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，且对零件的加工精度不敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 阀门 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海精测半导体技术有限公司，未经上海精测半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110019715.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
