[发明专利]一种小流量气体体积流量测量装置有效
申请号: | 202110021319.2 | 申请日: | 2021-01-08 |
公开(公告)号: | CN112857503B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 王大明 | 申请(专利权)人: | 欧世盛(北京)科技有限公司 |
主分类号: | G01F22/02 | 分类号: | G01F22/02 |
代理公司: | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 | 代理人: | 赵洋 |
地址: | 100094 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种小流量气体体积流量测量装置,包括第一管路气阻、第二管路气阻、第三管路气阻、第四管路气阻、第五管路气阻和检测组,第一管路气阻两端分别连接气体入口和气体出口,第二管路气阻入口端连接在第一管路气阻入口端,第三管路气阻入口端连接第一管路气阻出口端,第四管路气阻入口端连接第二管路气阻出口端,第五管路气阻入口端连接第三管路气阻出口端,检测组用于检测管路气阻出口压力、工作环境的大气压力和温度。本装置可以测量微升/分钟及以下流量的气体体积流量;测量有腐蚀性气体的体积流量;高压力下测量微升/分钟及以下流量气体体积值。 | ||
搜索关键词: | 一种 流量 气体 体积 测量 装置 | ||
【主权项】:
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