[发明专利]具备自测试功能的非制冷红外探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110023430.5 申请日: 2021-01-08
公开(公告)号: CN112880841A 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 关若飞;石梦;毛海央;丁雪峰 申请(专利权)人: 江苏创芯海微科技有限公司
主分类号: G01J5/22 分类号: G01J5/22;G01J5/20;G01J5/02
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 韩凤
地址: 214135 江苏省无锡市新吴区菱*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种非制冷红外探测器及其制备方法,尤其是一种具备自测试功能的非制冷红外探测器及其制备方法。按照本发明提供的技术方案,所述具备自测试的非制冷红外探测器,包括非制冷红外探测器本体,所述非制冷红外探测器本体包括读出电路、与所述读出电路电连接的红外敏感层以及与所述红外敏感层正对应的红外吸收结构,所述红外吸收结构包括红外吸收纳米森林。本发明能有效增大红外响应率,并能实现自测试,与现有工艺兼容,安全可靠。
搜索关键词: 具备 测试 功能 制冷 红外探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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