[发明专利]一种半导体硅片用电阻检测分类装置在审
| 申请号： | 202110024881.0 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112871758A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 祝凯 | 申请（专利权）人： | 开化晶芯电子有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/344 | 分类号： | B07C5/344;B07C5/38;B08B5/04 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 虞乘乘 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州市开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体硅片用电阻检测分类装置，属于半导体硅片技术领域，包括底箱、除尘机构、夹紧机构，所述底箱的正面两端设有防护门，所述防护门的表面右侧安装门扣，所述底箱的顶部安装壳体，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱、排尘口、抽气泵、吸尘头、吸尘管，所述检测机构包括气缸、安装板、安装壳、传感器、检测探头，本发明通过设置除尘机构，可以使在进行对半导体硅片进行检测时，会使检测的准确性提高，从而降低过多的损失，也起到提高一定的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 硅片 用电 检测 分类 装置 | ||
【主权项】：
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