[发明专利]基于真空全息光镊的空间分辨压强测量系统及方法有效
| 申请号： | 202110025166.9 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112880912B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 胡慧珠;陈铭;陈杏藩;高晓文;李楠;刘承 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;之江实验室 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于真空全息光镊的空间分辨压强测量系统及方法。包括真空腔、微纳粒子、光镊装置及反馈冷却装置、驱动电场装置、空间光调制器、偏振控制及检测装置和残余气体分析仪；激光从激光源出来经过第一分光镜入射到第一偏振分光镜发生透射，经空间光调制器反射调制、第一凸透镜透射汇聚后形成捕获光，捕获光照射微纳粒子处形成光阱捕获区域，捕获光经过微纳粒子后经第二凸透镜透射汇聚后入射到第二偏振分光镜发生反射和透射，第二偏振分光镜发生反射的光束入射到第一光电二极管；六个电极布置在光阱捕获区域周围。本发明利用全息光镊的操控灵活性，结合微纳粒子的局域探测手段，可以实现高真空下微纳尺度空间分辨率的压强分布测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 真空 全息 空间 分辨 压强 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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