[发明专利]一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜在审
| 申请号： | 202110029372.7 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112630958A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;姜鸣;任斌;王福杰;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，包括多层电磁线圈、硅底座、反射镜、介质层、永久磁性材料层和封装外壳，所述多层电磁线圈，通过给多层电磁线圈通入电压使线圈产生的磁场逐渐加强，对变形镜进行操作，去掉电压后使变形镜回到最初位置，本发明采用了多层线圈的方法，使中心电极很容易引出和外部驱动电路互联，避免了传统单层平面线圈驱动的MEMS变形镜硅通孔及通孔上下互联的难题。传统工艺为了降低热阻，需要增厚线圈的厚度，在采用多线圈的方法，在满足厚度的情况下，单层线圈的厚度成倍降低，减少了LIGA技术的使用，使用普通后胶光刻工艺即可达到需求，进一步减小工艺难度，也大大减小少了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 平面 电磁 线圈 驱动 mems 变形 | ||
【主权项】：
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