[发明专利]一种基于MEMS微镜的光学扫描装置在审
| 申请号： | 202110033979.2 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112630959A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;任斌;王福杰;郭芳;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS微镜的光学扫描装置，一种基于MEMS微镜的光学扫描装置，包括：激光光源、激光自准直仪、MEMS微镜和反射镜，激光光源发出入射光线，入射光线进入激光自准直仪，光线准直后由MEMS微镜反射，MEMS微镜反射光线到反射镜面，反射镜面将光线折射回MEMS微镜，MEMS微镜进行圆周扫描将光线反射至样本上，与现有技术相比，本发明通过使用反射镜与MEMS微镜配合使用，将MEMS微镜反射的光线再次反射到反射镜，有效的扩大了光学扫描装置扫描的角度和扩展了光学扫描装置扫描的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 光学 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞理工学院，未经东莞理工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110033979.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
