[发明专利]一种微型三轴加速度传感器结构在审
| 申请号： | 202110034880.4 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112730891A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;王小龙;程发斌;朱昌亚;韩海军;伍星 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 许驰 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型三轴加速度传感器结构，包括传感器基座、三个定位环、三个剪切压电环、三个内锥环、三个外锥环；剪切压电环套装在定位环外侧；传感器基座上设置有三根中心柱；三根中心柱中任意两根均垂直、定位环套装在中心柱外侧、内锥环套装在剪切压电环外侧；内锥环的锥面设置在外侧；外锥环套装在内锥环外侧；外锥环的锥面设置在内侧，外锥环的锥面与内锥环的锥面配合。本申请通过特殊的结构配合，实现了无需采用材料特殊、国产材料性能不稳定的形状记忆合金，无需在高温下进行收缩，简化了装配工艺，避免了高温环境对剪切压电片的性能造成不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 加速度 传感器 结构 | ||
【主权项】：
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