[发明专利]一种微电子机械系统MEMS加速度计在审
| 申请号： | 202110035255.1 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112858719A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王福杰;秦毅;郭芳;任斌;姜鸣;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子机械测量技术领域，尤其涉及一种微电子机械系统MEMS加速度计，采用了低成本MEMS传感器作为惯性参数敏感元器件，能够实时采集传感器的工作环境温度，并实现陀螺仪惯性参数和温度信号的数字量输出，可降低温度对MEMS器件精度影响，避免了加速度计与陀螺仪数模转换的信号干扰，具有体积小、成本低、功耗小、输出参数全面的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 机械 系统 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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