[发明专利]晶棒带锯机喷嘴有效
| 申请号： | 202110035685.3 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112873585B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 孙海峰 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上海）自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种晶棒带锯机喷嘴，包括壳体、进液口、排液口、分流板及分层板，该喷嘴可改变自排液口排出的液体形状，可在带锯上附着一层均匀分布的带状液体薄膜，在带锯高速运转及切削晶棒时，可避免不均匀流体变成不规则的流线束的现象，从而可获得具有良好平坦度的晶圆，降低晶圆表面产生棱线、裂纹等缺陷的概率，以节约人力及物力资源，提高产品质量，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒带 锯机 喷嘴 | ||
【主权项】：
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