[发明专利]诊断探头、气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统及方法在审

专利信息
申请号: 202110038248.7 申请日: 2021-01-12
公开(公告)号: CN112881347A 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 朱瑜;周平伟;李生福;赵宇;翟召辉;王荣波;朱礼国 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
主分类号: G01N21/63 分类号: G01N21/63
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 张超
地址: 621000*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种诊断探头、气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统及方法,系统包括激光器、耦合模块、光谱仪、控制模块和诊断探头;控制模块输出第一控制指令,以使激光器输出第一光信号,第一光信号经耦合模块耦合至光纤并传输至聚焦探头,聚焦探头将第一光信号聚焦至金属衬底以产生等离子体,被探测气体在等离子体的作用下产生第二光信号;控制模块输出第二控制指令,第二控制指令作用于光谱仪,以使光谱仪对聚焦探头采集的第二光信号进行光谱测试。本发明的目的在于提供一种诊断探头、气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统及方法,能在气体击穿阈值下进行气体成分与混合比的远程探测,具有实时响应、在线测量、应对恶劣环境的优势。
搜索关键词: 诊断 探头 气体 成分 激光 诱导 击穿 光谱 系统 方法
【主权项】:
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