[发明专利]一种数字化分布式干涉成像系统有效
| 申请号： | 202110038335.2 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112857410B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 韩春蕊;王宇;叶征宇;伍剑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种数字化分布式干涉成像系统，包括：参考光单元、物光信息采集单元以及图像重构单元；物光信息采集单元包括微镜层、波导层和数字化层；参考光单元用于发射参考光；微镜层用于离散式采集目标物体的物光；波导层包括多个干涉单元，参考光与物光在干涉单元中干涉；数字化层用于将干涉单元输出的参考光与物光的干涉结果转换为目标物体数字化的物光信息；图像重构单元用于根据数字化的物光信息重构目标物体的图像。相对于现有技术，本申请不受主流工艺对大尺寸芯片加工的限制，极大的拓展成像系统的等效口径和分辨率；有利于降低物光传输损耗，缩短成像时间；同时可以将任意两个局域物光进行配对，提高物光信号利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数字化 分布式 干涉 成像 系统 | ||
【主权项】：
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