[发明专利]一种真空镀膜OD在线测厚仪在审
申请号: | 202110038479.8 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112815859A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 曹玉霞 | 申请(专利权)人: | 上海苗威科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 深圳深瑞知识产权代理有限公司 44495 | 代理人: | 刘慧玲 |
地址: | 201700 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种真空镀膜OD在线测厚仪,包括:主机体,其外侧设置有铝合金机架,且铝合金机架的中部开设有用于放置被侧材料的料槽,所述主机体内位于料槽的边侧位置处设置有用于测量被侧材料厚度的测量组件,该测量组件中的单片机可与CCD模块连接,并通过串口与PC端通讯;两组固定支架;其技术要点为,本发明为了克服现有的测量问题,本测厚仪使用测量镜头替代原OD测量探头有效解决了体积的局限,做到了覆盖整个膜宽的测量要求,行内称为面测量;本发明使用到带有撑架组件的盖板,在未使用时可对料槽进行覆盖防护,在展开使用时利用撑架组件可对被测材料进行支撑,方便被测材料在料槽内移动,避免传统被测材料在料槽内晃动,造成测量结果出现误差的情况。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 od 在线 测厚仪 | ||
【主权项】:
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